Patent (고배율 광학계를 적용하는 마이크로 스폿 분광타원계의 왜 곡 보정 및 적용 방법) > 특허 (Patent)

본문 바로가기
About Us
Ellipso Technology
특허 (Patent)
  HOME > 회사소개 > 특허 (Patent)

Patent (고배율 광학계를 적용하는 마이크로 스폿 분광타원계의 왜 곡 보정 및 적용 방법)

페이지 정보

본문

고배율 광학계를 적용하는 마이크로 스폿 분광타원계의 왜곡 보정 및 적용 방법

(Distortion Correction and Application Method For Micro Spot Spectroscopic Ellipsometer Including High Magnification Optical System)